|
Нитрид титана (TiN)– это химическое соединение титана с азотом
Нанесение защитных и декоративных покрытий с использованием вакуумных ионно-плазменных методов напыления является одним из самых современных способов обработки поверхности. Эти методы пользуются большой популярностью благодаря экологической чистоте производства и высокому качеству получаемых декоративно-защитных плёнок.
Применяя в процессе обработки различные сочетания реактивных газов (азота, кислорода, углекислого газа), можно добиться практически любого цветового оттенка поверхности.
Процесс нанесения плёнок в вакууме состоит в создании (генерации) потока частиц, направленного в сторону обрабатываемой подложки. И последующей их конденсации с образованием тонкоплёночных слоёв на покрываемой поверхности. Таким образом, при нанесении тонких плёнок одновременно протекают три основных процесса: генерация направленного потока частиц осаждаемого вещества, пролёт частиц в разреженном (вакуумном) пространстве от их источника к обрабатываемой поверхности с образованием тонкоплёночных слоёв.
Процесс нанесения тонких плёнок в вакууме состоит из следующих основных операций:
Перед нанесением покрытия поверхность изделия подвергается тщательной механической очистке
Установки и закреплении подлежащих обработке подложек на подложкодержателе
Закрытии (герметизации) рабочей камеры и откачки её до требуемого вакуума
Включение источника, создающего атомарный (молекулярный) поток осаждаемого вещества
Нанесение плёнки определённой толщины при постоянно работающих источнике потока частиц и вакуумной системе
Выключении источника потока частиц, охлаждении подложек и напуске воздуха в рабочую камеру до атмосферного давления
Съём обработанных подложек с подложкодержателя
Существуют такие виды покрытий как:
Нитрид Титана - TiN: Одно из самых распространённых покрытий, получаемых вакуумно-плазменными методами. Преимущества: высокая твёрдость, низкий коэффициент трения, высокая химическая стойкость
Нитрид Циркония - ZrN: Имеет низкий коэффициент трения. Особенно эффективно применение на метчиках, работающих по меди, латуни, бронзам, алюминию
Нитрид Хрома - CrN: Покрытие термостойкое и обладает ярко выраженными антиадгезионными свойствами
Нитрид Титан Алюминия - TiAlN: для режущего инструмента. Покрытие фиолетофо-чёрного цвета. Обладает высокой твёрдостью при повышенных температурах, стойко к температурному окислению. Коэффициент трения по сухой стали 0.3-0.4; Термостойкость до 900’C; Толщина покрытия 3-5 мкм в зависимости от требований
Нитрид Хром Алюминия - CrAlN: покрытие для режущего инструмента, работающего на высоких скоростях и без СОЖ. Коэффициент трения по сухой стали 0.35; Термостойкость до 1100’C; Толщина покрытия 3-5 мкм в зависимости от требований
Карбонитрид титана - TiCN: Покрытие применяется на резьбонарезном инструменте, работающем по различным сталям, в том числе и по легированным. Покрытие имеет бронзово-фиолетовый цвет. Оттенок покрытия зависит от содержания углерода в покрытии. Чем больше углерода, тем более тёмное покрытие. Коэффициент трения по сухой стали - 0.4; Термостойкость до 400’C; Толщина покрытия 3-5 мкм в зависимости от требований
Оксид Титана - TiO2: Чаще всего применяется в декоративных целях, эффект "хамелеон". Покрытие небольшой толщины, обладает износостойкими свойствами
|
|
|
